[实用新型]密封装置、密封控制系统及硅烷压缩机

摘要

本申请涉及一种密封装置、密封控制系统及硅烷压缩机，涉及含硅半导体生产技术领域，其中密封装置包括从介质侧向轴承侧设置四级密封，依次为一级密封机构、二级密封机构、三级密封机构和四级密封机构；所述一级密封机构、所述二级密封机构和所述三级密封机构均采用干气密封结构并串联布置，所述四级密封机构采用梳齿密封结构，其中所述一级密封机构的密封气与介质相同；硅烷压缩机包括上述密封装置，二级密封机构的密封气压力大于所述一级密封机构的泄漏气压力；密封控制系统包括供气单元、过滤单元、流量调节单元、气压检测单元以及泄漏气监测单元。该申请具有能够杜绝外部非硅烷气体进入压缩机以提高运行稳定性及泄漏硅烷可控可回收的优点。