[实用新型]密封装置、密封控制系统及硅烷压缩机

权利要求书

1.一种密封装置，其特征在于：包括从介质侧向轴承侧设置四级密封，依次为一级密封机构、二级密封机构、三级密封机构和四级密封机构；所述一级密封机构、所述二级密封机构和所述三级密封机构均采用干气密封结构并串联布置，所述四级密封机构采用梳齿密封结构。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于：所述一级密封机构的密封气为硅烷气，所述二级密封机构的密封气为氢气，所述三级密封机构和所述四级密封机构的密封气为氮气或惰性气体。

3.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于：所述二级密封机构的密封气压力大于所述一级密封机构的泄漏气压力，所述三级密封机构的密封气压力大于所述二级密封机构的泄漏气压力。

4.一种密封控制系统，其特征在于：用于权利要求1-3任一所述的密封装置，所述密封控制系统包括：

供气单元(1)，包括：硅烷气源(11)，用于向所述一级密封机构的密封气入口提供硅烷；氢气源(12)，用于向所述二级密封机构的密封气入口提供氢气；惰性气源(13)，用于向所述三级密封机构和所述四级密封机构的密封气入口提供氮气或惰性气体；

过滤单元(2)，用于对所述供气单元(1)的气体进行过滤；

气压监测单元(5)和流量调节单元(4)，连接于外部的中控系统，所述流量调节单元(4)用于监测所述过滤单元（2）的工作状态和所述密封气的流量并将信号反馈到中控系统，所述气压监测单元(5)用于就地检测密封气压力。

5.根据权利要求4所述的密封控制系统，其特征在于：所述密封控制系统还包括：

泄漏气监测单元(7)，连接于外部的中控系统，用于监测所述一级密封机构泄漏气压力和流量以及所述二级密封机构的泄漏气压力。

6.根据权利要求4所述的密封控制系统，其特征在于：所述流量调节单元(4)控制所述供气单元(1)在一级密封机构注入气体的压力，使所述气压监测单元(5)监测一级密封机构的密封气压力大于所述一级密封机构的泄漏气压力。

7.一种硅烷压缩机，其特征在于：应用有权利要求1-3任一所述的密封装置；所述二级密封机构的密封气为氢气；

具体的，所述三级密封机构的密封气和所述四级密封机构的隔离气均为惰性气体；具体的，所述惰性气体为氮气、氩气或氦气的一种。

8.根据权利要求7所述的硅烷压缩机，其特征在于：所述一级密封机构、所述二级密封机构以及所述三级密封机构的进气端均连接有流量调节单元(4)，所述一级密封机构还连接有气压监测单元(5)，所述流量调节单元(4)连接外部的中控系统，所述气压监测单元(5)用于检测各密封机构的密封气压力并将信号反馈给中控系统，所述流量调节单元(4)接收到信号后调节气体流量。

9.根据权利要求8所述的硅烷压缩机，其特征在于：所述一级密封机构、所述二级密封机构以及所述三级密封机构的至少一个进气端连接有过滤单元(2)，所述过滤单元(2)用于过滤密封气；

具体的，所述过滤单元(2)安装于所述流量调节单元(4)和气压监测单元(5)的气道管线入口前端；

优选的，所述过滤单元(2)的气体过滤精度≤1um。

10.根据权利要求9所述的硅烷压缩机，其特征在于：所述一级密封机构的泄漏气出口连接有用于处理硅烷的回收装置。