[实用新型]一种单晶提拉速换热器有效
| 申请号: | 202123219772.9 | 申请日: | 2021-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN216838269U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
| 发明(设计)人: | 林龙强;杜忠明;梁家宝;刘智嘉 | 申请(专利权)人: | 中山市汇创精密科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司: | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人: | 杨连华 |
| 地址: | 528400 广东省中山市火炬*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种单晶提拉速换热器,包括壳体,所述壳体内设有第一换热空间,所述壳体上端设有冷却介质输入管路以及冷却介质输出管路,所述壳体围合形成提拉通道,所述壳体的外侧壁上设有观察部,所述观察部的上端设有观察开口,所述观察开口与提拉通道相通,所述观察部内设有第二换热空间;本实用新型通过在单晶提拉速换热器的外壳上且位于提拉通道的另一侧设置观察部,并在其上端设置观察开口,使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时,能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况,从而做出相应的操作,保证单晶硅的品质和成晶率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶提拉速 换热器 | ||
【主权项】:
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