[实用新型]一种单晶提拉速换热器

说明书

一种单晶提拉速换热器，包括壳体，所述壳体内设有第一换热空间，所述壳体上端设有冷却介质输入管路以及冷却介质输出管路，所述壳体围合形成提拉通道，所述壳体的外侧壁上设有观察部，所述观察部的上端设有观察开口，所述观察开口与提拉通道相通，所述观察部内设有第二换热空间；本实用新型通过在单晶提拉速换热器的外壳上且位于提拉通道的另一侧设置观察部，并在其上端设置观察开口，使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时，能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应的操作，保证单晶硅的品质和成晶率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体是一种单晶提拉速换热器。

背景技术

直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。通常会在单晶炉上设置观察视窗以查看单晶硅的生长变化，及时作出调整，确保单晶硅稳定生长；在拉晶过程中需采用单晶提拉速换热器对单晶硅进行冷却散热，工作人员通过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化时，由于单晶提拉速换热器的阻挡而存在观察盲区，使工作人员无法看到在单晶提拉速换热器下的硅熔体液面，无法观察单晶硅的生长变化，给工作人员带来了很大的不便。

本实用新型即是针对现有技术的不足而研究提出。

实用新型内容

针对上述提到的现有技术中的工作人员通过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化时，由于单晶提拉速换热器的阻挡而存在观察盲区，使工作人员无法看到在单晶提拉速换热器下的硅熔体液面，无法观察单晶硅的生长变化，给工作人员带来了很大的不便的技术问题。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：

一种单晶提拉速换热器，包括壳体，所述壳体内设有第一换热空间，所述壳体上端设有与第一换热空间相通的冷却介质输入管路以及冷却介质输出管路，所述壳体围合形成提拉通道，所述壳体的外侧壁上设有观察部，所述观察部的上端设有用于观察位于单晶提拉速换热器下方的硅熔体液面的观察开口，所述观察开口与提拉通道相通，所述观察部内设有与第一换热空间相通的第二换热空间。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述壳体呈中空的圆柱状，所述壳体的一侧设有缺口，所述观察部连接在所述缺口上并自下而上沿径向向外倾斜。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部截面呈上宽下窄的梯形状。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部的侧壁与单晶提拉速换热器所在水平面形成的夹角为α，所述°95≤α≤120°。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察开口位置低于所述冷却介质输入管路输出端位置，所述冷却介质输入管路输出端位置平行于所述冷却介质输出管路输入端位置。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部的末端靠近所述提拉通道的输入端。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察开口的截面呈U型状。

如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部与壳体一体成型。

本实用新型的有益效果是：1、本实用新型通过在单晶提拉速换热器的壳体的外侧壁上设置观察部，并在其上端设置观察开口，使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时，能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应的操作，保证单晶硅的品质和成晶率，并且观察部内设有与第一换热空间相通的第二换热空间，使单晶提拉速换热器对单晶硅进行冷却散热时温度均匀，防止单晶硅在冷却散热时因温度的不均而发生断裂。