[实用新型]一种具有充气功能的圆形平面阴极

摘要

本实用新型公开了一种具有充气功能的圆形平面阴极，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上安装有靶材板，所述环形阴极主体的顶部安装有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安装有卡接组件，所述环形阴极主体的内部安装有连接板，当对靶材板上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件连接，通过对气顶组件进行输气，使得气顶组件内部构件对磁板进行顶置，继而调节磁板与靶材板之间的间距，以便于对靶材板上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量。