[实用新型]一种高灵敏度的气体测量装置有效
| 申请号： | 202123036256.2 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN217542865U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 赵卫雄;周家成;张杨;徐学哲;方波;张为俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/01 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高灵敏度的气体测量装置，包括：光源组件、光学谐振腔、光信号接收模块、电信号处理模块、数据采集计算模块和气路组件；光源组件作为气体测量装置的探测光源；光学谐振腔作为气体测量装置的气体吸收池，包括PFA管、设置于PFA管两侧端面用于密封的高反射率透镜、设置于PFA管上的两个气孔；光信号接收模块作为光信号的检测器件，包括滤光片和探测器；电信号处理模块包括处理电路和锁相放大器，用于电流转换和放大解调；数据采集计算模块用于信号采集和计算；气路组件包括气体过滤器、三通电磁阀、粒子过滤器、质量流量计和微型隔膜泵。本实用新型的气体测量装置，设备体积小、成本低、时间响应快、探测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 气体 测量 装置 | ||
【主权项】：
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