[实用新型]引弧装置和离子源模组及真空镀膜机有效
| 申请号： | 202122785698.0 | 申请日： | 2021-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN216237247U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;郑礼伟;陈松;杨恺 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张捷美 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种引弧装置和离子源模组及真空镀膜机。该引弧装置包括安装座、活动杆、引弧针与复位组件。活动杆与安装座活动连接，活动杆的外壁套设有波纹管，波纹管的一端密封连接于安装座，波纹管的另一端与活动杆密封连接，当活动杆相对安装座移动时，波纹管在活动杆的带动下伸缩运动；引弧针用于与靶材抵接以引燃靶材；复位组件用于驱动活动杆朝远离靶材的方向复位运动。通过复位组件使得引弧针在接触靶材后，避免引弧针惯性运动，以避免引弧针过度撞击靶材而造成的引弧针烧坏的风险。通过波纹管的设置，可以减少真空环境对引弧装置的影响，也可对引弧针具有一定的缓冲效果，减低引弧针烧坏的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 离子源 模组 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市华升真空镀膜科技有限公司，未经东莞市华升真空镀膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122785698.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
