[实用新型]热阻式蒸镀设备有效
| 申请号： | 202122723917.2 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216404519U | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 黄琪兵;杨然翔;陈旋宇 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种热阻式蒸镀设备，其包括设备外壳以及位于所述设备外壳内的镀锅、热蒸系统和至少一个气体电离系统，其中，所述设备外壳具有容置腔，所述镀锅设置于所述容置腔的一侧，所述镀锅包括基板，所述基板朝向所述热蒸系统，所述热蒸系统设置于所述容置腔相对于所述镀锅的另一侧，并与所述镀锅的位置对应，所述热蒸系统将膜料进行加热形成靶材分子，至少一个所述气体电离系统设置于所述容置腔内邻近所述热蒸系统的一侧，至少一个所述气体电离系统提供气体离子，使得所述气体离子带动所述靶材分子移动至所述基板，所述靶材分子在所述基板表面形成膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 热阻式蒸镀 设备 | ||
【主权项】：
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