[实用新型]集成化光波导装置的制造装置有效
| 申请号： | 202122707433.9 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN216526375U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 楼歆晔;黄河;郝芳;林涛 | 申请（专利权）人： | 上海鲲游科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/124;G02B6/13;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 徐民奎 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区自由贸*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种集成化光波导装置的制造装置，其中该集成化光波导装置包括一光波导结构部和一光栅结构部。该制造装置包括：一母板，其中该母板具有与一或多个该光栅结构部相对应的待转印的光栅结构，并且该光栅结构部包括多个光栅单元，其中多个该光栅单元分别沿着多条第一周期线、多条第二周期线以及多条第三周期线进行周期排布以形成一整块二维光栅结构，并且该第一周期线、该第二周期线以及该第三周期线之间的较小夹角均为60°；和一纳米压印装置，其中该纳米压印装置用于利用该母板加工形成该光栅结构部于该光波导结构部，以得到该集成化光波导装置。 | ||
| 搜索关键词： | 集成化 波导 装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海鲲游科技有限公司，未经上海鲲游科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122707433.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
