[实用新型]集成化光波导装置的制造装置

权利要求书

1.集成化光波导装置的制造装置，其中该集成化光波导装置包括一光波导结构部和一光栅结构部，其特征在于，其中所述制造装置包括：

一母板，其中所述母板具有与一或多个该光栅结构部相对应的待转印的光栅结构，并且该光栅结构部包括多个光栅单元，其中多个该光栅单元分别沿着多条第一周期线、多条第二周期线以及多条第三周期线进行周期排布以形成一整块二维光栅结构，并且该第一周期线、该第二周期线以及该第三周期线之间的较小夹角均为60°；和

一纳米压印装置，其中所述纳米压印装置用于利用所述母板加工形成该光栅结构部于该光波导结构部，以得到该集成化光波导装置。

2.如权利要求1所述的制造装置，其中，该光栅结构部的该二维光栅结构是由多个该光栅单元阵列排布而成，并且多个该光栅单元分别位于该第一周期线、该第二周期线以及该第三周期线之间的交点处。

3.如权利要求2所述的制造装置，其中，该光栅结构部的该二维光栅结构被等效为分别平行于该第一周期线、该第二周期线以及该第三周期线的三个一维光栅结构。

4.如权利要求1至3中任一所述的制造装置，进一步包括一母板制造装置，其中所述母板制造装置包括一涂布机构、一双光束干涉系统以及一刻蚀机构，其中所述涂布机构用于涂布光刻胶于一母板基板的表面；其中所述双光束干涉系统用于对该光刻胶进行曝光以显影地产生干涉条纹，其中所述刻蚀机构用于在该干涉条纹的显影下，刻蚀该光刻胶以在该母板基板的表面形成该待转印的光栅结构。

5.如权利要求4所述的制造装置，其中，所述双光束干涉系统包括一激光光源、一分束镜、左反射镜、右反射镜、左透镜组以及右透镜组，其中所述激光光源用于发射一束紫外激光，其中所述分束镜被设置于所述激光光源的发射路径，用于将该束紫外激光分成左右两束光线，其中所述左反射镜和所述右反射镜用于分别对应地反射左右两束光线以转折光路，并且所述左透镜组和所述右透镜组用于分别对应地扩束和准直被反射后的左右两束光线，以在该光刻胶的表面叠加干涉，曝光以显影出干涉条纹一致的周期性条纹图案。

6.如权利要求5所述的制造装置，其中，所述母板制造装置进一步包括一调控机构，其中所述调控机构用于可控厚度地涂布该光刻胶与该母板基板的表面，以调控该光刻胶的厚度，使得该光刻胶的厚度不完全一致，并且所述调控机构还用于调控所述双光束干涉系统在该光刻胶的不同区域的曝光量，使得该光刻胶上形成的条纹宽度不完全一致。

7.如权利要求4所述的制造装置，其中，所述纳米压印装置包括一子板和一子板压印机构，其中所述子板是通过所述母板翻模而成的，并且所述子板具有与所述母板上的所述待转印的光栅结构相互补的互补结构，其中所述子板压印机构用于通过所述子板压印被涂布于波导基底的表面上的未固化的光栅材料，并固化该未固化的光栅材料以在该波导基底的表面形成一或多个所述光栅结构部。

8.如权利要求7所述的制造装置，其中，所述纳米压印装置进一步包括一切割装置，其中所述切割装置用于切割该波导基底以形成一或多个该光波导结构部，使得该光波导结构部与该光栅结构部一一对应而获得一或多个该集成化光波导装置。

9.如权利要求4所述的制造装置，其中，所述纳米压印装置包括一模具、一支撑板以及一模具压印机构，其中所述模具是通过所述母板翻模而成的，其中所述模具包括一或多个模腔和与所述母板上的所述待转印的光栅结构相互补的互补结构，并且所述互补结构被对应地设置于所述模腔的内壁，其中所述模具压印机构用于通过所述模具在所述支撑板上形成一体地成型的该光栅结构部和该光波导结构部而获得一或多个该集成化光波导装置。

10.如权利要求9所述的制造装置，其中，所述模具压印机构包括一布设机构、一压合机构以及一固化机构，其中所述布设机构用于布设液态树脂材料于所述支撑板的支撑平面，其中所述压合机构用于压合所述模具于所述支撑板的所述支撑平面，以使该液态树脂材料在所述模腔内扩散，其中所述模具的所述互补结构在该液态树脂材料的表面压印形成该光栅结构部，其中所述固化机构用于对该液态树脂材料进行固化处理，以得到固化后的树脂材料作为具有一体式结构的该集成化光波导装置。