[实用新型]手臂结构有效
| 申请号： | 202122686984.1 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN217046475U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 淄博绿能芯创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;H01L21/687;H05B3/00 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 梁勤伟 |
| 地址： | 255025 山东省淄博市高新区中*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种手臂结构，包括控制器、驱动管路、加热元件以及手臂壳体，手臂壳体用于抓取晶圆，驱动管路布置在手臂壳体的内部并能够驱使手臂壳体进行抓取动作，加热元件布置在手臂壳体内部，用于加热手臂壳体，加热元件优选采用加热电阻丝，控制器电连接加热元件，本实用新型通过在手臂结构内部加装加热元件，使手臂结构的温度与高温腔室内的晶圆温度一致，能够解决腔室内高温晶圆与低温手臂结构接触时由于晶圆发生形变导致无法抓取的问题，结构简单，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 手臂 结构 | ||
【主权项】：
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