[实用新型]一种离子植入机维修保养环境保护装置有效
| 申请号： | 202122604900.5 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216213252U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 彭代全;徐康;褚书明;周孝;潘家英;彭雅琴 | 申请（专利权）人： | 上海裕诗实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;B08B15/04;B08B5/04 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 耿悦 |
| 地址： | 201620 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子植入机维修保养环境保护装置，包括：封闭式工作仓，封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接；负压接口，设置在封闭式工作仓的顶部，负压接口与外部的负压发生设备相连接；滑杆，水平设置在封闭式工作仓的内部上方；多个第一负压吸风盘，分别经滑块与滑杆滑动连接，相邻两个第一负压吸风盘之间通过伸缩风管相连通；总管，设置在封闭式工作仓内，总管与负压接口相连通，且总管还与伸缩风管相连通；竖管，一端与总管相连通，竖管的另一端设置在封闭式工作仓的侧壁上，且竖管上设有至少一个外接口，外接口通过软管与第二负压吸风盘相连接。本实用新型避免了废气的逸散和对环境的污染，提高了废气的抽吸效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 植入 维修保养 环境 保护装置 | ||
【主权项】：
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