[实用新型]一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置有效
| 申请号： | 202122383619.3 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN216977799U | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王育平;陈贻达;林志阳 | 申请（专利权）人： | 厦门特仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，包括机架，机架内设有厚度检测机构，厚度检测机构包括大理石气浮平台、晶圆片承载机构、X轴调节机构、Y轴调节机构、Z轴调节机构、测厚镜头机构；大理石气浮平台设于机架上；晶圆片承载机构用于放置待检测的晶圆片；测厚镜头机构分别通过X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构实现X轴、Y轴和Z轴方向上的调节；X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构均配备相应的直线电机，并由控制系统根据系统软件自动控制；机架底部设有万向轮。本实用新型具有工作效率高、结构紧凑可靠、测试精度高、操作方便，能实现多种尺寸多种样式的兼容测试等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 盘晶圆片 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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