[实用新型]一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，包括机架，机架内设有厚度检测机构，厚度检测机构包括大理石气浮平台、晶圆片承载机构、X轴调节机构、Y轴调节机构、Z轴调节机构、测厚镜头机构；大理石气浮平台设于机架上；晶圆片承载机构用于放置待检测的晶圆片；测厚镜头机构分别通过X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构实现X轴、Y轴和Z轴方向上的调节；X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构均配备相应的直线电机，并由控制系统根据系统软件自动控制；机架底部设有万向轮。本实用新型具有工作效率高、结构紧凑可靠、测试精度高、操作方便，能实现多种尺寸多种样式的兼容测试等优势。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片厚度检测设备技术领域，具体而言涉及一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置。

背景技术

现在的工厂一直进行自动化改造，自动化测试大量运用，人工检测中精准度低，且产能效率低，易疲劳，且载体陶瓷盘重，易造成工伤等问题。

申请号为CN201920416373.5的实用新型中公开了一种晶圆表面质量检测装置，它包括第一底座、上测试机构、下测试微调机构、用于放置晶圆的X-Y移动平台；第一底座上表面的一侧连接有横梁，横梁的侧壁与上测试机构连接，上测试机构上连接有上测头，上测头位于X-Y移动平台的上方；X-Y移动平台与第一底座的上表面连接，X-Y移动平台下方的第一底座上设置有方孔，下测试微调机构位于方孔内且与第一底座连接；下测试微调机构上连接有下测头；第一底座底部连接有用于固定在机架上的减震器；X-Y移动平台通过直线电机驱动和交叉滚珠导轨移动，晶圆放置在X-Y移动平台上，实现米字型、面扫不同方式的3D轨迹检测，从而测得晶圆翘曲度、厚度和厚度偏差表面质量。

然而，上述检测设备步骤繁琐，检测时间过长，检测效率较低，产能和稳定性能均显得捉襟见肘，对于多种尺寸多种样式的兼容性也较差，可调整性和可操作性均不够。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种工作效率高、结构紧凑可靠、测试精度高、操作方便，能实现多种尺寸多种样式的兼容测试的陶瓷盘晶圆片自动检测装置。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，所述自动检测装置包括机架，所述机架内设有厚度检测机构，所述厚度检测机构包括大理石气浮平台、晶圆片承载机构、X轴调节机构、Y轴调节机构、Z轴调节机构、测厚镜头机构；所述大理石气浮平台设于所述机架上，所述大理石气浮平台上设置有厚度检测机构的其余组成部分；所述晶圆片承载机构用于放置待检测的晶圆片；所述测厚镜头机构分别通过所述X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构实现X轴方向上、Y轴方向上和Z轴方向上的调节；所述X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构均配备相应的直线电机，并由控制系统根据系统软件自动控制；所述机架底部设有万向轮。

进一步地，所述晶圆片承载机构包括晶圆片载台、载台支撑座、载台限位架；所述晶圆片载台的下方与所述载台支撑座可拆卸连接；所述载台支撑座的下方设有用于在Z轴方向上调节所述晶圆片载台的载台调节机构，所述载台调节机构包括调节轮和调节丝杆；所述调节丝杆与所述载台支撑座相连。

进一步地，所述测厚镜头机构包括测厚镜头和镜头固定板；所述镜头固定板与所述Z轴调节机构连接。

进一步地，所述Z轴调节机构包括Z轴固定板、与所述Z轴固定板相连的Z轴连接板、与所述Z轴连接板相连的Z轴滑槽板、与所述Z轴滑槽板配合且可沿所述Z轴滑槽板在Z轴方向上作直线运动的Z轴滑块；所述Z轴滑块与所述测厚镜头机构相连，带动所述测厚镜头机构在Z轴方向上移动；所述Z轴固定板与所述X轴调节机构相连。

进一步地，所述X轴调节机构包括X轴横梁、与所述X轴横梁平行设置的X轴滑轨、设于所述X轴横梁上方且可沿所述X轴滑轨在水平面上作直线运动的X轴滑块；所述X轴横梁通过X轴横梁固定架与所述Y轴调节机构相连；所述X轴滑块与所述Z轴调节机构连接，带动所述测厚镜头机构在X轴方向上移动。