[实用新型]一种解决直拉单晶炉排气口堵塞的装置有效
| 申请号： | 202122380140.4 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN216514249U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 王淼;刘伟;孔凯斌;贾海洋;周宏邦;娄中士;张强;侯明超;张庆虎;王立刚;史慧敏 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;B08B9/047 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种解决直拉单晶炉排气口堵塞的装置，包括：驱动装置，除尘装置和时间继电器，所述除尘装置与所述驱动装置连接；其中，所述时间继电器可设定所述驱动装置与所述除尘装置运转的时间，用于控制所述驱动装置和所述除尘装置的运转和停止；所述驱动装置用于驱动所述除尘装置运动，所述除尘装置用于清理单晶炉排气口的堆积物。本实用新型的有益效果是：通过该装置的清理，排气口几乎不附着氧化物，能够缩短清理时间，加快开炉速度；该装置能够改善杂质断苞；同时，该装置能够改善单晶发彩和氧含量升高问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 直拉单晶炉排 气口 堵塞 装置 | ||
【主权项】：
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