[实用新型]亮暗场结合的光学检测装置和系统

摘要

本申请公开了一种亮暗场结合的光学检测装置和系统，涉及光学检测的技术领域，装置包括光源部分、成像系统和面阵相机；光源部分包括独立设置的亮场光源部分和暗场光源部分；成像系统包括同轴设置的分束镜组件、成像镜头和中继镜头；面阵相机被配置为采集由中继镜头输出的成像图像；暗场光源部分被配置为向待测工件的待测表面发出暗场光，成像镜头被配置为朝向待测表面；亮场光源部分被配置为向分束镜组件发出亮场光；分束镜组件设于成像镜头和中继镜头之间，被配置为将从亮场光源部分发出的亮场光反射至成像镜头，将从成像镜头发出的亮场光和/或暗场光透过并发射至中继镜头。本申请将亮暗场检测组合使用，应对更多尺寸缺陷和检测精度要求。