[实用新型]亮暗场结合的光学检测装置和系统

权利要求书

1.一种亮暗场结合的光学检测装置，其特征在于，包括光源部分(1)、成像系统和面阵相机(3)；

所述光源部分(1)包括独立设置的亮场光源部分(11)和暗场光源部分(12)；

所述成像系统包括同轴设置的分束镜组件、成像镜头(21)和中继镜头(22)；

所述面阵相机(3)被配置为采集由所述中继镜头(22)输出的成像图像；其中，

所述暗场光源部分(12)被配置为向待测工件的待测表面(4)发出暗场光，所述成像镜头(21)被配置为朝向所述待测表面(4)；

所述亮场光源部分(11)被配置为向所述分束镜组件发出亮场光；所述分束镜组件设于所述成像镜头(21)和所述中继镜头(22)之间，被配置为将从所述亮场光源部分(11)发出的亮场光反射至所述成像镜头(21)中，以及将从所述成像镜头(21)发出的亮场光和/或暗场光透过并发射至所述中继镜头(22)。

2.如权利要求1所述的亮暗场结合的光学检测装置，其特征在于，所述分束镜组件包括半透半反镜(23)。

3.如权利要求1所述的亮暗场结合的光学检测装置，其特征在于，所述分束镜组件包括消偏振分光棱镜。

4.如权利要求1所述的亮暗场结合的光学检测装置，其特征在于，所述分束镜组件包括偏振分光棱镜(24)和1/4λ波片(25)，所述中继镜头(22)、所述偏振分光棱镜(24)、所述成像镜头(21)和所述1/4λ波片(25)依次间隔同轴设置。

5.如权利要求1所述的亮暗场结合的光学检测装置，其特征在于，所述分束镜组件包括偏振分光棱镜(24)和1/4λ波片(25)，所述中继镜头(22)、所述偏振分光棱镜(24)、所述1/4λ波片(25)和所述成像镜头(21)依次间隔同轴设置。

6.一种亮暗场结合的光学检测系统，其特征在于，包括光源部分(1)、成像系统和面阵相机(3)和待测工件；

所述光源部分(1)包括独立设置的亮场光源部分(11)和暗场光源部分(12)；

所述成像系统包括同轴设置的分束镜组件、成像镜头(21)和中继镜头(22)；

所述面阵相机(3)被配置为采集由所述中继镜头(22)输出的成像图像；其中，

所述暗场光源部分(12)被配置为向所述待测工件的待测表面(4)发出暗场光，所述成像镜头(21)被配置为朝向所述待测表面(4)；

所述亮场光源部分(11)被配置为向所述分束镜组件发出亮场光；所述分束镜组件设于所述成像镜头(21)和所述中继镜头(22)之间，被配置为将从所述亮场光源部分(11)发出的亮场光反射至所述成像镜头(21)中，以及将从所述成像镜头(21)发出的亮场光和/或暗场光透过并发射至所述中继镜头(22)。

7.如权利要求6所述的亮暗场结合的光学检测系统，其特征在于，所述分束镜组件包括半透半反镜(23)。

8.如权利要求6所述的亮暗场结合的光学检测系统，其特征在于，所述分束镜组件包括消偏振分光棱镜。

9.如权利要求6所述的亮暗场结合的光学检测系统，其特征在于，所述分束镜组件包括偏振分光棱镜(24)和1/4λ波片(25)，所述中继镜头(22)、所述偏振分光棱镜(24)、所述成像镜头(21)和所述1/4λ波片(25)依次间隔同轴设置。

10.如权利要求6所述的亮暗场结合的光学检测系统，其特征在于，所述分束镜组件包括偏振分光棱镜(24)和1/4λ波片(25)，所述中继镜头(22)、所述偏振分光棱镜(24)、所述1/4λ波片(25)和所述成像镜头(21)依次间隔同轴设置。