[实用新型]一种基于三自由度摆式主动隔振基座

摘要

本实用新型提供了一种基于三自由度摆式主动隔振基座，包括顶板、支撑腔体、空气弹簧、活塞、柔性摆杆和数字控制器，所述柔性摆杆连接在顶板下方，所述柔性摆杆下端与活塞滑动连接，所述活塞位于空气弹簧顶部，所述顶板下方设有震动传感器，所述支撑腔体上部设有位置传感器和音圈电机。本实用新型的主动隔振基座，采用三个对称的柔性摆杆将基座顶板与空气弹簧的活塞连接，柔性摆杆能在垂直于杆的各个方向产生弯曲变形，能实现水平向两个自由度的隔振，然后通过音圈电机保持垂直向自由度的隔振，从而保持整个系统的位置稳定和定位精确。该主动隔振基座结构简单，控制方便，可以输出线性作用力，能够实现三个自由度的隔振，且基座固有频率低。