[实用新型]微影VRS人员漏失改善装置有效
| 申请号： | 202122161388.1 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN216350274U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 刘爱斌;李勇江;朱佔涛;唐少林;陈林 | 申请（专利权）人： | 昆山鼎鑫电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;H04N5/235;G08B21/24;G08B5/36 |
| 代理公司： | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人： | 计静静 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了微影VRS人员漏失改善装置，包括VRS机台，所述VRS机台上方安装有视频光学摄像头、照明源，所述视频光学摄像头、所述照明源均与PC主机相连，所述PC主机连接有显示器，所述视频光学摄像头的摄像方向、所述照明源的照明方向均朝向所述VRS机台。本申请的微影VRS人员漏失改善装置，能够避免人为判断工件缺点带来的影响，提高工件缺陷点的检测效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 微影 vrs 人员 漏失 改善 装置 | ||
【主权项】：
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