[实用新型]一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置

摘要

本实用新型属于多晶硅加工技术领域，尤其涉及一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，包括加工平台、粗加工装置、夹持台、安装台、马达和精磨刀具，粗加工装置由底座、粗磨筒、螺纹管、碎屑盒、粗磨面和漏孔组成，加工平台的左侧固定安装有电动伸缩装置，加工平台的上表面设置有除屑装置。该去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，在对多晶硅棒进行粗加工时，将多晶硅棒放置在粗磨筒的内部，使多晶硅棒的端面与粗磨面和接触，转动多晶硅棒，对多晶硅棒的端面进行粗磨，磨削产生的碎屑会从漏孔漏下，掉落在碎屑盒的内部，在粗加工完成后，转动碎屑盒在螺纹管的内部转动，将碎屑盒取下，对碎屑进行清理。