[实用新型]用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置有效
| 申请号： | 202122130839.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN216150260U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 金浩天;孙游 | 申请（专利权）人： | 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/00;G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，涂胶显影机包括作业平台、安装于作业平台的吸盘和涂胶装置。喷嘴锁定装置包括动力机构和锁定机构。动力机构安装于作业平台。锁定机构包括一基座和多个锁定支架，基座安装于工装载具的一侧，多个锁定支架均铰接于基座，且每一锁定支架和基座的铰接处均设有一弹性件。锁定支架在弹性件的作用下对接与其相对应的喷嘴，以将喷嘴锁定于工装载具；及动力机构用于对接任一锁定支架，以驱动锁定支架脱离于喷嘴。本实用新型能够有效确保涂胶显影机在运行的过程中，喷嘴能够始终处于稳固的状态，不会轻易从工装载具上脱离，从而能够在很大程度上提高对晶圆涂胶的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂胶 显影 喷嘴 锁定 装置 | ||
【主权项】：
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