[实用新型]一种自动清理式HVPE过滤器有效
| 申请号： | 202122012830.4 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN215782285U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 郑小超 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D46/42 |
| 代理公司： | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人： | 吴晨亮 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动清理式HVPE过滤器,包括：腔体，所述腔体顶部设有盖板，所述腔体底部设有底板，所述腔体中部安置有过滤芯，所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架和腔体的内壁固接，所述滤芯支架上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸，两个气缸的底部通过穿过滤芯支架的活塞固接有清粉块，所述清粉块呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸通过气路管线与电磁阀连接。本实用新型的有益效果是利用气缸的上下运动带动清粉块的运动，以防止粉尘堆积在过滤芯上从而造成堵塞。这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率，且此操作不会对HVPE腔体内部的压力产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 清理 hvpe 过滤器 | ||
【主权项】：
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