[实用新型]一种自动清理式HVPE过滤器有效
申请号: | 202122012830.4 | 申请日: | 2021-08-25 |
公开(公告)号: | CN215782285U | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 郑小超 | 申请(专利权)人: | 镓特半导体科技(铜陵)有限公司 |
主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24;B01D46/42 |
代理公司: | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人: | 吴晨亮 |
地址: | 244000 安徽省铜陵*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 清理 hvpe 过滤器 | ||
1.一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:包括:腔体(1),所述腔体顶部设有盖板(2),所述腔体底部设有底板(3),所述腔体中部安置有过滤芯(4),所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架(5)和腔体(1)的内壁固接,所述滤芯支架(5)上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸(6),两个气缸(6)的底部通过穿过滤芯支架(5)的活塞固接有清粉块(7),所述清粉块(7)呈环形,将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触,所述气缸(6)通过气路管线与电磁阀(8)连接。
2.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述电磁阀(8)位于腔体外,所述盖板(2)上设有气路接口(9),所述气路管线通过气路接口(9)与电磁阀连接。
3.如权利要求2所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述气路接口有两个,所述气路管线包括连通两个气缸的第一气路管线和第二气路管线,两个气路接口分别与第一气路管线和第二气路管线连通。
4.如权利要求2所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述气路接口(9)与盖板(2)之间适配有密封圈。
5.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述清粉块(7)材质为304/316L不锈钢。
6.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述腔体(1)是304/316L不锈钢材质。
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