[实用新型]一种自动清理式HVPE过滤器有效

专利信息
申请号: 202122012830.4 申请日: 2021-08-25
公开(公告)号: CN215782285U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 郑小超 申请(专利权)人: 镓特半导体科技(铜陵)有限公司
主分类号: B01D46/24 分类号: B01D46/24;B01D46/42
代理公司: 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 代理人: 吴晨亮
地址: 244000 安徽省铜陵*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 自动 清理 hvpe 过滤器
【权利要求书】:

1.一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:包括:腔体(1),所述腔体顶部设有盖板(2),所述腔体底部设有底板(3),所述腔体中部安置有过滤芯(4),所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架(5)和腔体(1)的内壁固接,所述滤芯支架(5)上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸(6),两个气缸(6)的底部通过穿过滤芯支架(5)的活塞固接有清粉块(7),所述清粉块(7)呈环形,将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触,所述气缸(6)通过气路管线与电磁阀(8)连接。

2.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述电磁阀(8)位于腔体外,所述盖板(2)上设有气路接口(9),所述气路管线通过气路接口(9)与电磁阀连接。

3.如权利要求2所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述气路接口有两个,所述气路管线包括连通两个气缸的第一气路管线和第二气路管线,两个气路接口分别与第一气路管线和第二气路管线连通。

4.如权利要求2所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述气路接口(9)与盖板(2)之间适配有密封圈。

5.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述清粉块(7)材质为304/316L不锈钢。

6.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是:所述腔体(1)是304/316L不锈钢材质。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于镓特半导体科技(铜陵)有限公司,未经镓特半导体科技(铜陵)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122012830.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top