[实用新型]一种PEMS设备专用的气体分配器

摘要

本实用新型涉及一种PEMS设备专用的气体分配器。包括壳体、电源接口、NO输入口，O2输入口、N2输入口、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一流量计、第二流量计、第三流量计、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、臭氧发生器、混气罐、出气口、控制面板，所述NO输入口通过NO管线连接混气罐的进口，所述O2输入口通过O2管线连接臭氧发生器的进气端，所述N2输入口通过N2管线连接臭氧发生器的进气端，所述臭氧发生器的出气端连接混气罐的进口，所述混气罐的出口连接出气口。本实用新型能够实现气体的分配。