[实用新型]一种PEMS设备专用的气体分配器

权利要求书

1.一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：包括壳体、电源接口、NO输入口，O₂输入口、N₂输入口、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一流量计、第二流量计、第三流量计、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、臭氧发生器、混气罐、出气口、控制面板，所述壳体包括前板、后板、侧板和底板，所述电源接口、NO输入口，O₂输入口、N₂输入口、出气口、控制面板设置在所述壳体的前板上，所述第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一流量计、第二流量计、第三流量计、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、臭氧发生器、混气罐设置在所述壳体的内部，所述NO输入口通过NO管线连接混气罐的进口，所述NO管线上依次设置有第一压力传感器、第一电磁阀、第一流量计、第一单向阀，所述O₂输入口通过O₂管线连接臭氧发生器的进气端，所述O₂管线上依次设置有第二压力传感器、第二电磁阀、第二流量计、第二单向阀，所述N₂输入口通过N₂管线连接臭氧发生器的进气端，所述N₂管线上依次设置有第三压力传感器、第三电磁阀、第三流量计、第三单向阀，所述臭氧发生器的出气端连接混气罐的进口，所述混气罐的出口连接出气口。

2.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述侧板突出前板的位置设置有拎手。

3.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述侧板突出后板的位置与后板之间设置有加强块。

4.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述侧板突出底板的位置设置有支撑座。

5.根据权利要求4所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述支撑座底部设置有防震垫。

6.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述前板、后板、侧板和底板均设置有软胶层。

7.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述壳体为不锈钢材质。

8.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述控制面板包括显示屏、控制按钮、指示灯，所述电源接口连接电源线。

9.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述前板、后板、侧板、底板之间通过螺钉连接或卡接。

10.根据权利要求1所述的一种PEMS设备专用的气体分配器，其特征在于：所述前板上设置有铭牌。