[实用新型]一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构有效
| 申请号: | 202121855733.5 | 申请日: | 2021-08-10 |
| 公开(公告)号: | CN215695450U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
| 发明(设计)人: | 孙杭州;孙斌 | 申请(专利权)人: | 江阴市纪泽万家科技有限公司 |
| 主分类号: | B05C11/08 | 分类号: | B05C11/08;B05C13/02 |
| 代理公司: | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人: | 曹键 |
| 地址: | 214400 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构,涉及半导体光伏行业中匀胶机技术领域,包括旋转台、匀胶机旋转机构、锁紧机构、密封机构、胶液收集盘、定位机构和基片吸附盘,所述旋转台与匀胶机旋转机构通过锁紧机构固定连接,所述密封机构、胶液收集盘、定位机构、基片吸附盘均设置在旋转台上,本实用新型减小生产过程中因基片晃动而产生液膜不均匀,有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度,有利于提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 匀胶机用 高精度 定位 旋转 结构 | ||
【主权项】:
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