[实用新型]一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构

说明书

本实用新型公开了一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构，涉及半导体光伏行业中匀胶机技术领域，包括旋转台、匀胶机旋转机构、锁紧机构、密封机构、胶液收集盘、定位机构和基片吸附盘，所述旋转台与匀胶机旋转机构通过锁紧机构固定连接，所述密封机构、胶液收集盘、定位机构、基片吸附盘均设置在旋转台上，本实用新型减小生产过程中因基片晃动而产生液膜不均匀，有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度，有利于提高产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体光伏行业中匀胶机技术领域，尤其涉及一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构。

背景技术

匀胶机又称旋涂仪，它通过快速旋转基片，将基片表面的功能性胶液通过离心力展成为均匀的液膜，并将多余的胶液甩出。该类设备广泛应用于半导体光刻前道工序、太阳能电池和锂电池制造、显示器等行业。

匀胶机金属材质或者特殊塑料材质的吸盘与旋转体的连接是通过吸盘上预留孔与旋转轴体实现。这样，高速旋转产生的离心力使吸盘在高速旋转时因安装间隙导致吸盘上基片存在晃动，基片晃动会让基片上的液膜产生厚度不均匀，从而达不到理想实验数据，为此，我们提出一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构，解决了高速旋转产生的离心力使吸盘在高速旋转时因安装间隙导致吸盘上基片存在晃动，基片晃动会让基片上的液膜产生厚度不均匀，从而达不到理想实验数据的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构，包括旋转台、匀胶机旋转机构、锁紧机构、密封机构、胶液收集盘、定位机构和基片吸附盘；

所述旋转台与匀胶机旋转机构通过锁紧机构固定连接，所述密封机构、胶液收集盘、定位机构、基片吸附盘均设置在旋转台上。

所述匀胶机旋转机构包括旋转电机，所述旋转台上开设有轴孔，所述旋转电机的旋转轴插接在轴孔的内部，使旋转台与匀胶机旋转机构旋转轴之间有足够长的导向距离，保证同心度。

优选的，所述旋转电机的顶部固定安装有多个导向套，所述旋转台的底端滑动插接在导向套的内部，避免旋转台在转动的过程中出现位置偏移，提高了旋转台旋转的稳定性。

优选的，所述锁紧机构包括锁孔和锁紧螺丝，所述锁孔开设在旋转台的两边，所述锁紧螺丝旋接在锁孔内部，保证旋转台与匀胶机旋转机构旋转轴同步运行，防止运行中存在相对速度差。

优选的，所述密封机构包括环形槽和密封圈，所述环形槽开设在旋转台顶部的外侧壁上，所述密封圈活动安装在环形槽的内部，能够保证基片吸附盘内的真空度以及保证基片吸附盘和旋转台紧密结合。

优选的，所述密封圈为“O”型结构，所述密封圈的材质为橡胶。

优选的，所述定位机构包括定位孔和定位销，所述定位孔对称开设在旋转台顶部，所述定位销固定安装在基片吸附盘底部，所述定位销插接在定位孔的内部，保证基片吸附盘和匀胶机旋转机构的旋转轴同步旋转。

优选的，所述旋转台的顶部为圆盘结构，所述旋转台顶部的面积大于底部面积，保证基片吸附盘上的基片处于水平，提高涂覆的平整度。

优选的，所述旋转台为不锈钢材质，有利于延长旋转台的使用寿命。

优选的，所述导向套通过多个安装螺栓安装在旋转电机顶部，方便定期拆卸清理或者更换。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种具有如下有益效果：通过在匀胶机旋转机构与基片吸附盘之间增设的旋转台减少基片吸附盘与匀胶机旋转机构旋转轴之间的安装间隙，以达到减小生产过程中因基片晃动而产生液膜不均匀，有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度，有利于提高产品的质量。

附图说明

图1为一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构的结构示意图；