[实用新型]介质隔离式压力传感器有效
申请号: | 202121798659.8 | 申请日: | 2021-08-03 |
公开(公告)号: | CN215492215U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 张兵兵 | 申请(专利权)人: | 昆山灵科传感技术有限公司 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14;G01L19/06 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;高翠花 |
地址: | 215335 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种介质隔离式压力传感器,介质隔离式压力传感器包括:基板;壳体,包括侧壁及顶盖,所述侧壁与所述顶盖密封连接,所述侧壁由硬质材料制成,所述顶盖由柔性材料制成,所述壳体扣合在所述基板上,形成容纳腔;至少一压力传感器芯片,固定在所述基板上,且置于所述容纳腔内;介质液体,充满所述容纳腔,外界压力能够通过所述壳体、所述介质液体传导至所述压力传感器芯片。本实用新型的优点在于,壳体包括由硬质材料构成的侧壁及柔性材料构成的顶盖,能够平衡测量精度及支撑力,兼顾了可靠性,也保证了介质隔离式压力传感器的输出,能够避免单一壳体材质带来的缺点,大大提高了介质隔离式压力传感器的性能。 | ||
搜索关键词: | 介质隔离 压力传感器 | ||
【主权项】:
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