[实用新型]一种激光位移传感器自动化标定装置有效
申请号: | 202121553628.6 | 申请日: | 2021-07-09 |
公开(公告)号: | CN215932130U | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 刘钧;居冰峰;张文浩;戴霖;陈旺 | 申请(专利权)人: | 苏州创视智能技术有限公司 |
主分类号: | G01S7/497 | 分类号: | G01S7/497 |
代理公司: | 北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11346 | 代理人: | 魏秀莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种激光位移传感器自动化标定装置,在运动台面两侧分别布置激光位移传感器与激光干涉仪,并在运动台面上布置光束分析仪以实现光斑测量。本实用新型通过将激光位移传感器的线性标定装置与光束测量装置集成到同一台设备上,不仅实现激光位移传感器线性度的高精度标定,而且实现了光束分布的同时标定,显著减少标定工序,通过组合不同规格的传感器安装底座以及运动模组可以在同台设备上实现多种型号的激光位移传感器标定,具备通用性与实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 位移 传感器 自动化 标定 装置 | ||
【主权项】:
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