[实用新型]石英件退火炉有效

专利信息
申请号: 202121459722.5 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN215593250U 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 徐坤林 申请(专利权)人: 苏州凯联石英科技有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02;C30B29/18
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 代理人: 崔巍
地址: 215231 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种石英件退火炉,包括操作台,操作台包括移动式承载底座,移动式承载底座与操作台的下方的承载底座驱动装置传动连接,移动式承载底座上设有若干石英件承载单元,石英件承载单元包括石英件承载架,石英件承载架上分层堆放有条状石英件,操作台的上方设有退火炉罩,退火炉罩的内侧设有退火加热部件,移动至退火炉罩的下方的移动式承载底座与降下的退火炉罩扣接形成封闭的退火炉膛,退火炉罩对退火炉膛内的石英件承载架上的条状石英件进行退火处理。本实用新型采用具有石英件承载架的自动化石英件退火炉方案,具有自动化程度高,处理效率高、效果好的特点。
搜索关键词: 石英 退火炉
【主权项】:
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