[实用新型]石英件退火炉

权利要求书

1.石英件退火炉，其特征是包括操作台，所述操作台包括移动式承载底座，所述移动式承载底座与所述操作台的下方的承载底座驱动装置传动连接，所述移动式承载底座上设有若干石英件承载单元，所述石英件承载单元包括石英件承载架，所述石英件承载架上分层堆放有条状石英件，所述操作台的上方设有退火炉罩，所述退火炉罩的内侧设有退火加热部件，移动至所述退火炉罩的下方的所述移动式承载底座与降下的所述退火炉罩扣接形成封闭的退火炉膛，所述退火炉罩对所述退火炉膛内的所述石英件承载架上的条状石英件进行退火处理。

2.根据权利要求1所述的石英件退火炉，其特征在于，所述操作台包括一对龙门架，所述一对龙门架的顶部的横梁的相对侧上设有水平滑轨，所述水平滑轨与所述移动式承载底座的对应侧上的水平滑槽形成滑动导向连接，所述移动式承载底座的底部设有沿所述水平滑轨方向延伸的齿条，所述齿条与所述承载底座驱动装置传动连接，所述承载底座驱动装置驱动所述移动式承载底座沿所述水平滑轨运动。

3.根据权利要求2所述的石英件退火炉，其特征在于，所述承载底座驱动装置包括驱动装置箱体，所述驱动装置箱体内设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上的主动齿轮与传动齿轮传动啮合，所述传动齿轮与所述齿条传动啮合，所述驱动电机驱动所述移动式承载底座沿所述水平滑轨运动。

4.根据权利要求1所述的石英件退火炉，其特征在于，所述石英件承载单元包括设在所述移动式承载底座上的承载单元基座，所述承载单元基座的中央设有基座转台安装大孔，所述基座转台安装大孔内设有基座转台，所述基座转台上设有所述石英件承载架，所述基座转台的底部与转台柱的顶端连接，伸入所述移动式承载底座内的安装空间的所述转台柱的底端与所述安装空间的底部形成轴向定位连接，所述安装空间内设有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上的主动锥齿轮与所述转台柱上的从动锥齿轮传动啮合，所述旋转电机驱动所述基座转台旋转。

5.根据权利要求4所述的石英件退火炉，其特征在于，所述承载单元基座的台面上沿周向设有扣接环槽，所述扣接环槽与降下的所述退火炉罩的底端边缘扣接形成封闭的退火炉膛。

6.根据权利要求1所述的石英件退火炉，其特征在于，所述石英件承载架包括平置的多层底架杆组、竖起的多列侧架杆组，所述底架杆组包括多个平行设置的底架杆，所述侧架杆组包括多个平行设置的侧架杆，对应位置上的所述底架杆、侧架杆相交形成立体的孔道支架结构，所述孔道支架结构的孔道内放置有所述条状石英件。

7.根据权利要求1所述的石英件退火炉，其特征在于，所述操作台上还设有呈拱形柱面的退火炉罩支架，所述退火炉罩支架的顶部上设有升降电机，所述升降电机的输出端向下与升降螺杆传动连接，所述升降螺杆与设在所述退火炉罩支架内的所述退火炉罩的顶板的一端形成螺纹传动连接，所述升降电机通过所述升降螺杆驱动所述退火炉罩升降运动。

8.根据权利要求7所述的石英件退火炉，其特征在于，所述退火炉罩的顶板的另一端上设有升降导向孔，所述升降导向孔内设有升降导杆，所述升降导杆的顶端与所述退火炉支架的顶部内侧连接，所述升降导杆与所述退火炉罩的顶板形成导向滑动连接。