[实用新型]一种基于超构材料的微纳折射率传感器有效

专利信息
申请号: 202121445841.5 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN215004981U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 王涛;杨杰;张浩然;孙嘉诚;王高峰 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01N21/25;G01N21/01
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 龙涛
地址: 310018 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种基于超构材料的微纳折射率传感器,涉及折射率传感技术领域。包括等间距阵列设置的传感器单元,所述传感器单元包括由上至下依次设置的第一金属层、第一布拉格反射镜、介质层、第二布拉格反射镜和第二金属层,所述第一布拉格反射镜和第二布拉格反射镜均包括GaAs层和AlGaAs层,所述GaAs层和AlGaAs层周期交替排列,所述传感器单元设置通孔,所述通孔为正方形。本实用新型的微纳折射率传感器不仅灵敏度较高,而且尺寸小,构造简单,更易于实现传感器的小型化和集成化,扩大了折射率传感器的应用范围。
搜索关键词: 一种 基于 材料 折射率 传感器
【主权项】:
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