[实用新型]一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置有效
| 申请号： | 202121440948.0 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN215264371U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 宗健;曾利萍;李红岩 | 申请（专利权）人： | 江苏博砚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H05B3/40;H05B3/02 |
| 代理公司： | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 蒋何栋 |
| 地址： | 214241 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置，涉及光刻胶涂布系统技术领域，为解决现有光刻胶从储存的冰箱取出后，若直接使用，由于温度较低，会影响光刻胶旋涂时的粘滞性、粘附性与稳定性，若等待光刻胶回温后使用，由于回温时间较长，影响涂布效率的问题。所述水箱的内部设置有光刻胶加热管，所述水箱的内部两侧均设置有转盘，所述转盘上设置有转叶，所述水箱的内部底部两侧均设置有电加热棒，所述电加热棒的下方设置有线路管道，所述线路管道的一侧设置有温控开关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 均匀 彩色 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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