[实用新型]一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置

说明书

本实用新型公开了一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置，涉及光刻胶涂布系统技术领域，为解决现有光刻胶从储存的冰箱取出后，若直接使用，由于温度较低，会影响光刻胶旋涂时的粘滞性、粘附性与稳定性，若等待光刻胶回温后使用，由于回温时间较长，影响涂布效率的问题。所述水箱的内部设置有光刻胶加热管，所述水箱的内部两侧均设置有转盘，所述转盘上设置有转叶，所述水箱的内部底部两侧均设置有电加热棒，所述电加热棒的下方设置有线路管道，所述线路管道的一侧设置有温控开关。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶涂布系统技术领域，具体为一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，光刻胶通常是通过旋涂以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。当紫外光或电子束的照射时，光刻胶材料本身的特性会发生改变，经过显影液显影后，曝光的负性光刻胶或未曝光的正性光刻胶将会留在衬底表面，这样就将设计的微纳结构转移到了光刻胶上，光刻胶涂布温度一般需要与室温相同，可最大减少光刻胶的温度波动，从而减少工艺波动。

但是，现有光刻胶从储存的冰箱取出后，若直接使用，由于温度较低，会影响光刻胶旋涂时的粘滞性、粘附性与稳定性，若等待光刻胶回温后使用，由于回温时间较长，影响涂布效率；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置，以解决上述背景技术中提出的现有光刻胶从储存的冰箱取出后，若直接使用，由于温度较低，会影响光刻胶旋涂时的粘滞性、粘附性与稳定性，若等待光刻胶回温后使用，由于回温时间较长，影响涂布效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种加热均匀的彩色光刻胶加热装置，包括水箱，所述水箱的内部设置有光刻胶加热管，所述水箱的内部两侧均设置有转盘，所述转盘上设置有转叶，所述水箱的内部底部两侧均设置有电加热棒。

优选的，所述电加热棒的下方设置有线路管道，所述线路管道的一侧设置有温控开关。

优选的，所述温控开关的上方设置有热电偶传感器。

优选的，所述水箱的两侧均设置有传动机构，两侧所述传动机构的一端设置有传动轴。

优选的，所述传动轴之间安装有双轴电机。

优选的，所述水箱的一侧上方设置有进水口，所述水箱的一侧下方设置有排水口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过将光刻胶加热管设置为螺旋状，尽量使光刻胶加热管的外表面最大范围的接触外部加热液体，使内部的光刻胶加热更加均匀。

2、通过在水箱的两侧设置转叶，转动时搅动加热液体，使水箱内各个位置的加热液体温度均匀，可进一步使光刻胶加热更加均匀，避免了现有光刻胶从储存的冰箱取出后，若直接使用，由于温度较低，会影响光刻胶旋涂时的粘滞性、粘附性与稳定性，若等待光刻胶回温后使用，由于回温时间较长，影响涂布效率的问题发生。

3、通过在水箱的内部设置电加热棒，可加热水箱内的液体，光刻胶加热管可将热量传递给内部的光刻胶，在水箱的下方设置温控开关YYW-2，可设置开关数值，温度低于数值打开电加热棒的开关，加热至数值后断开电加热棒的开关，使水箱内的液体温度可控制，避免加热过热影响光刻胶的稳定。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型的侧面结构示意图；