[实用新型]一种晶圆片研磨设备有效
| 申请号： | 202121404824.7 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN214980132U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;洪章源 | 申请（专利权）人： | 厦门陆远科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00;B24B49/14;B24B55/03;H01L21/67;B01D29/03 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械领域，公开了一种晶圆片研磨设备，包括设备主体和磨削液循环系统。设备主体上设置有回流管和出液管。磨削液循环系统包括过滤池、混合桶、添加液桶和控制器。添加液桶内设置有用于调节磨削液PH值的添加液。混合桶上设置有用于过滤和缓冲水冲击的缓冲过滤组件以及分别与控制器连接的温度传感器、PH值检测器和加热器。缓冲过滤组件设置于连接管的下方。缓冲过滤组件包括缓冲主体，所述缓冲主体上设置有进液过滤块。缓冲主体的出口处朝进液口方向倾斜设置，并与混合桶内壁留有缝隙。本实用新型不仅能够对回收的磨削液进行多层过滤，而且还能对磨削液的PH值、温度值进行全自动调节控制，从而维持回流研磨液的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 研磨 设备 | ||
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