[实用新型]双平台紫外皮秒切割光路装置

摘要

本实用新型公开了双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器、短光腔及长光腔，所述扩束镜架可选择性的固定设置于短光腔以及长光腔内，所述扩束镜固定设置于扩束镜架上，所述反射镜固定设置于二维镜架上，本实用新型涉及半导体切割技术领域，本装置结构合理，成本低，方便使用，采用短光腔以及长光腔的方式代替光纤传输激光，实现激光飞行传输，节约了空间布局，同时避免了布线的烦恼，本实用新型经过短光腔以及长光腔内的二次扩束和聚焦，得到了更优质量的激光，提升了切割效果，本实用新型大大的优化了光路结构，方便光路组件的安装布局，使设备更加美观。