[实用新型]双平台紫外皮秒切割光路装置

说明书

本实用新型公开了双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器、短光腔及长光腔，所述扩束镜架可选择性的固定设置于短光腔以及长光腔内，所述扩束镜固定设置于扩束镜架上，所述反射镜固定设置于二维镜架上，本实用新型涉及半导体切割技术领域，本装置结构合理，成本低，方便使用，采用短光腔以及长光腔的方式代替光纤传输激光，实现激光飞行传输，节约了空间布局，同时避免了布线的烦恼，本实用新型经过短光腔以及长光腔内的二次扩束和聚焦，得到了更优质量的激光，提升了切割效果，本实用新型大大的优化了光路结构，方便光路组件的安装布局，使设备更加美观。

技术领域

本实用新型涉及半导体切割技术领域，具体为双平台紫外皮秒切割光路装置。

背景技术

现有紫外皮秒激光切割设备切割光路存在以下技术缺陷：一是布局复杂，容易造成干涉；二是扩束过程光路结构的密封性不佳，容易受到污染；三是光路调试不方便，鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供双平台紫外皮秒切割光路装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器、短光腔及长光腔，所述激光器与短光腔之间相连接，所述短光腔与长光腔之间相连接，所述长光腔长侧面开设有开孔，所述短光腔与长光腔内均设置有扩束镜、扩束镜架、二维镜架以及反射镜，所述扩束镜架可选择性的固定设置于短光腔以及长光腔内，所述扩束镜固定设置于扩束镜架上，所述反射镜固定设置于二维镜架上。

优选的，所述短光腔与长光腔之间呈90度直角，所述反射镜为竖直立放，且反射镜与短光腔以及长光腔的侧壁成45度角。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本装置结构合理，成本低，方便使用；

1、采用短光腔以及长光腔的方式代替光纤传输激光，实现激光飞行传输，节约了空间布局，同时避免了布线的烦恼；

2、本实用新型采用长、短光腔两个光腔，可根据实际需求，选择性的把扩束镜安装在长光腔或者短光腔，用于适应不同规格产品的扩束需求。

3、本实用新型大大的优化了光路结构，方便光路组件的安装布局，使设备更加美观。

4、本实用新型出光前采用全封闭光路，保障了光束的稳定性和质量，避免了粉尘污染。

附图说明

图1为本实用新型的侧视的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视的结构示意图；

图3为本实用新型的俯视剖视结构示意图。

图中：1-激光器、2-短光腔、3-长光腔、4-扩束镜、5-扩束镜架、6-二维镜架、7-反射镜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：双平台紫外皮秒切割光路装置，包括激光器1、短光腔2及长光腔3，激光器1与短光腔2之间相连接，短光腔2与长光腔3之间相连接，长光腔3长侧面开设有开孔，短光腔2与长光腔3内均设置有扩束镜4、扩束镜架5、二维镜架6以及反射镜7，扩束镜架5可选择性的固定设置于短光腔2以及长光腔3内，扩束镜4固定设置于扩束镜架5上，反射镜7固定设置于二维镜架6上。

具体而言，短光腔2与长光腔3之间呈90度直角，反射镜7为竖直立放，且反射镜7与短光腔2以及长光腔3的侧壁成45度角。