[实用新型]一种光阑装置有效
| 申请号： | 202121189190.8 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215064375U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王星星;赖勇 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B5/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种光阑装置。光阑装置包括：移动组件，移动组件包括旋转驱动单元；光阑板，与移动组件连接，光阑板的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面，以将照射在光阑板表面的激光进行反射；光阑板能在旋转驱动单元的驱动下转动。本申请提供一种能将照射到光阑板上的激光反射出去，保护光阑板免受损坏，且能根据入射激光角度调节反射角度，避免激光反射回激光装置上的光阑装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阑 装置 | ||
【主权项】：
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