[实用新型]一种光阑装置有效
申请号: | 202121189190.8 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN215064375U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 王星星;赖勇 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G02B5/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光阑 装置 | ||
本申请公开了一种光阑装置。光阑装置包括:移动组件,移动组件包括旋转驱动单元;光阑板,与移动组件连接,光阑板的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面,以将照射在光阑板表面的激光进行反射;光阑板能在旋转驱动单元的驱动下转动。本申请提供一种能将照射到光阑板上的激光反射出去,保护光阑板免受损坏,且能根据入射激光角度调节反射角度,避免激光反射回激光装置上的光阑装置。
技术领域
本实用新型涉及光斑轮廓检测技术领域,尤其涉及一种光阑装置。
背景技术
光斑轮廓检测中,需要通过光阑来将激光进行拦光,光阑上有狭缝,激光透过狭缝,形成狭缝形状的光斑。而光阑上没有狭缝的区域激光无法穿过,因此激光照射在该区域上,尤其是能量较高的激光照射,会导致该区域能量聚集而产生高温,对光阑板造成损坏,使光阑板边缘受损,进而影响光斑形状,降低光阑性能。同时,激光照射在光阑板上时,光阑板会将激光反射回激光装置中,这样会导致激光装置被损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光阑装置,以解决现有技术中光阑板在激光照射下发生损坏,影响光斑形状,降低光阑性能的问题,以及解决激光反射回激光装置导致激光装置被损坏的问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种光阑装置,其中,包括:
移动组件,所述移动组件包括旋转驱动单元;
光阑板,与所述移动组件连接,所述光阑板的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面,以将照射在所述光阑板表面的激光进行反射;所述光阑板能在所述旋转驱动单元的驱动下转动。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述移动组件还包括平移驱动单元,所述旋转驱动单元连接至所述平移驱动单元,所述平移驱动单元能驱动所述旋转驱动单元沿X方向及Z方向移动。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述平移驱动单元包括第一平移驱动件及第二平移驱动件,所述第一平移驱动件的驱动方向为Z方向,所述第二平移驱动件的驱动方向为X方向;所述第二平移驱动件为两个,两个所述第二平移驱动件均连接在所述第一平移驱动件的输出端;
所述旋转驱动单元包括第一旋转驱动件及第二旋转驱动件,所述第一旋转驱动件及所述第二旋转驱动件分别连接至两个所述第二平移驱动件的输出端;
所述光阑板为两块,两块所述光阑板分别连接至所述第一旋转驱动件及所述第二旋转驱动件,两块所述光阑板相对设置,以使两块所述光阑板之间形成光阑狭缝。
作为上述光阑装置的一种可选方案,与所述第一旋转驱动件连接的所述光阑板在所述第一旋转驱动件的驱动下绕与Y方向平行的第一轴线转动,与所述第二旋转驱动件连接的所述光阑板在所述第二旋转驱动件的驱动下绕与Y方向平行的第二轴线转动。
作为上述光阑装置的一种可选方案,当所述光阑板的旋转角度为0时,所述光阑板与所述X方向及所述Y方向均平行,两块所述光阑板的相对的一端的端面与所述X方向呈夹角设置,以使所述端面作为所述反射面,所述夹角大于0小于90°。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述夹角大于等于30°小于等于60°。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述两块所述光阑板的相对的一端的端面共同形成V形结构,所述V形结构的顶部宽度大于或等于激光照射区域的宽度。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述反射面为形成在所述光阑板上的镜面抛光面。
作为上述光阑装置的一种可选方案,所述光阑装置还包括安装架,所述安装架包括:
底座;
安装板,设于所述底座上,且所述安装板与所述Z方向及所述X方向均平行,所述移动组件及所述光阑板均设于所述安装板上。
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