[实用新型]一种源瓶输送柜有效
| 申请号： | 202121147463.2 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN214744973U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑少宾;甘泽光;胡云霞 | 申请（专利权）人： | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/08 | 分类号： | F17C13/08;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/00;F17D5/06 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 刘泽正 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种源瓶输送柜，包括柜体及柜门，所述柜体的顶部设有电气控制箱和指示灯，所述柜体中设有源瓶，所述源瓶的上方设有阀门控制组件，所述柜体管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯和阀门控制组件均与所述电气控制箱电连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种源瓶输送柜，集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置于一体的设备，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示。很大程度上解决了双瓶源液柜的存储放置问题，防止特殊气体泄露，使得源液柜变得方便安全，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 | ||
【主权项】：
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