[实用新型]一种源瓶输送柜有效
| 申请号： | 202121147463.2 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN214744973U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑少宾;甘泽光;胡云霞 | 申请（专利权）人： | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/08 | 分类号： | F17C13/08;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/00;F17D5/06 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 刘泽正 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 输送 | ||
【权利要求书】：
1.一种源瓶输送柜，其特征在于：包括柜体(1)及柜门(2)，所述柜体(1)的顶部设有电气控制箱(3)和指示灯(4)，所述柜体(1)中设有源瓶(5)，所述源瓶(5)的上方设有阀门控制组件(6)，所述柜体(1)管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯(4)和阀门控制组件(6)均与所述电气控制箱(3)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述源瓶(5)为两个，其中一个为备用瓶。
3.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述柜体(1)顶部安装有排风阀(7)和气体传感器，所述排风阀(7)管道连接所述尾气处理装置。
4.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述阀门控制组件(6)包括与所述源瓶(5)的瓶头阀连接的供气管路(61)，所述供气管路(61)上设有电磁阀(62)。
5.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述柜体(1)的顶部安装有负压表(8)。
6.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述指示灯(4)为三色指示灯。
7.根据权利要求1所述的一种源瓶输送柜，其特征在于：所述柜门(2)开设有进气风口，所述进气风口覆盖有滤网(9)。
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