[实用新型]一种方棒加热自动线有效
申请号: | 202121129027.2 | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN215187471U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 张小飞;侯贺;王钢 | 申请(专利权)人: | 大连威凯特科技有限公司 |
主分类号: | H05B6/80 | 分类号: | H05B6/80;H05B6/76;H05B6/78;H05B1/02;B28D7/00 |
代理公司: | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人: | 杨瑾 |
地址: | 116033 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种方棒加热自动线,涉及硅片生产设备,包括支撑座、双链条传输线、左抑制微波泄露装置、微波加热区、右抑制微波泄露装置、电器控制柜构成;本实用新型使用多微波加热器对硅棒方棒进行均匀加热,并通过温度传感器实时检测,可以将硅棒方棒均匀加热至27±3摄氏度,同时使硅棒方棒加热的均匀性好,加热效率高,硅棒温度分布更均匀,从而减少硅棒在切割过程中硅片崩边的比例,有利于降低硅片的加工成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 加热 自动线 | ||
【主权项】:
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