[实用新型]一种方棒加热自动线

说明书

本实用新型公开了一种方棒加热自动线，涉及硅片生产设备，包括支撑座、双链条传输线、左抑制微波泄露装置、微波加热区、右抑制微波泄露装置、电器控制柜构成；本实用新型使用多微波加热器对硅棒方棒进行均匀加热，并通过温度传感器实时检测，可以将硅棒方棒均匀加热至27±3摄氏度，同时使硅棒方棒加热的均匀性好，加热效率高，硅棒温度分布更均匀，从而减少硅棒在切割过程中硅片崩边的比例，有利于降低硅片的加工成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备，具体为一种方棒加热自动线，主要用于在硅片生产过程中，在切片之前需要对硅棒方棒加热到指定温度使用。

背景技术

现有技术中，硅片加工技术主要有多线砂浆切割和金刚线切割两种。其中多线砂浆切割是广泛采用的技术，该技术的关键在于磨料的切割能力以及切割过程中的热力学行为，在实际应用中，选用聚乙二醇和碳化硅配置成悬浮液辅助钢线携带悬浮液与硅棒相对磨削达到切割的目的，但是高COD的聚乙二醇的使用会造成环境污染已逐渐不再使用；而金刚线切割是将金刚石采用粘接或电镀的方式固定在直钢丝上进行高速往返切割，虽说其优势明显，但是在金刚线切片时采用往返走线方式，硅片边缘有规律的锯齿状切割纹路，导致金刚线硅片边缘崩边缺损比例高于砂浆硅片，尤其是粘胶面崩边比例更高，无论单晶硅片、多晶硅片的边缘崩缺是金刚线硅片的主要缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方棒加热自动线，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方棒加热自动线，包括固定于地面上的支撑座，所述支撑座的底部在每个固定底脚处均设置有用于调整所述支撑座的整体处于水平状态调节底脚；所述支撑座上沿其长度方向水平设置有双链条传输线，同时在所述双链条传输线的上方通过支撑座固定设置有从左至右依次设置的左抑制微波泄露装置、微波加热区、右抑制微波泄露装置，以及设置在所述支撑座后侧并固定在地面上的电器控制柜构成；所述微波加热区设置在所述支撑座的中间处，所述左抑制微波泄露装置和右抑制微波泄露装置的结构尺寸均相同且以所述微波加热区为中心左右对称设置。

优选的，所述双链条传输线的左右两端均与所述支撑座的左右两端平齐，其左端为上料部，右端为下料部，所述双链条传输线包括前后两侧平行设置且间距小于方棒的宽度的两条传输链条，同时所述双链条传输线2的外侧设置有导向挡块用于限制方棒在输送的过程中的跑偏现象；所述双链条传输线的左右两端均设置有大链轮；所述支撑座靠近最右端固定设置有电机并通过传动链条连接至右端的大链轮；所述电机为变频电机并通过导线连接至电器控制柜。

优选的，所述左抑制微波泄露装置和右抑制微波泄露装置的结构和尺寸均相同，包括固定在所述支撑座上且环绕所述双链条传输线的上层传输链条的设置的矩形防护外壳，所述防护外壳的各个内侧面均设置有与其垂直的梳齿。

优选的，所述梳齿的长度和相互之间的距离均为微波波长的四分之一，在所述梳齿上和所述防护外壳的内壁上还覆盖有吸波材料并按照水环形式设置用于提升微波的效率。

优选的，所述左抑制微波泄露装置和右抑制微波泄露装置沿所述双链条传输线的轴向方向的长度均设置为≥3米。

进一步的，所述微波加热区包括两个成U型设置的上罩体和下罩体构成，所述上罩体开口向下罩扣在所述双链条传输线的上方，所述下罩体开口向上罩设在所述双链条传输线上层链条的下方，两罩体合围成一个环绕双链条传输线上层链条且可以使得方棒通过的矩形的中空腔体，所述中空腔体在与所述双链条传输线垂直的截面上每个侧面中间处均设置有一个微波发生器。

优选的，所述微波加热区的沿所述双链条传输线的轴向方向长度设置为≥2米，同时在长度方向每个侧面均匀设置有七个微波发生器，共二十八个微波发生器，且每个微波发生器均通过导线连接至电器控制柜。

进一步的，所述上罩体顶部在左右两侧最外侧的微波发生器的内侧均设置有温度传感器并通过导线连接至电器控制柜；所述微波加热区的加热温度范围为27±3摄氏度。