[实用新型]具备倒装结构的垂直腔面发射激光器、垂直腔面发射激光器阵列

摘要

本实用新型提供一种具备倒装结构的垂直腔面发射激光器、垂直腔面发射激光器阵列，所述V C S E L包括衬底、设置于所述衬底之上的第一镜层、设置于所述第一镜层之上的活化层和设置于所述活化层之上的第二镜层，所述第二镜层之上设置钼金属层，所述第二镜层与所述钼金属层之间设置有上电极层，所述衬底与所述第一镜层之间设置有蚀刻制止层，所述蚀刻制止层材质不同于所述衬底材质，所述衬底设置光窗用于光线射出，且所述衬底的非光窗区域设置底部电极。所述V C S E L阵列包括至少2个所述V C S E L。本实用新型金属散热层制备简单，且适宜制作高功率阵列V C S E L芯片。