[实用新型]一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台

摘要

本实用新型涉及一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，属于定位平台技术领域，宏动方位转台通过螺栓连接在主动转轴Ⅰ上，宏动水平转台通过螺栓连接在主动转轴Ⅱ上，微动定位平台通过螺栓连接在宏动水平转台的U型工作台上。机构采用叠堆型压电陶瓷和电机作为主要动力源，宏动水平转台转动由空心轴电机通电提供动力，微动平台采用叠堆型压电陶瓷来进行驱动，并通过桥式铰链作为位移放大机构实现粘滑惯性驱动，同时粘滑惯性与直流电动机相互配合抑制粘滑驱动所产生的回退位移，保持微动定位平台的运动连续性，X向和Y向的定位平台在同一平面，性能优越，能够消除耦合并且结构紧凑，体积小，实现了连续驱动，磁悬浮机构实现Z向运动，使Z向运动的精度更高，增加了平台Z向运动的可控性,通过微动定位平台与宏动二维转台相结合实现大行程和高精准度的目的，显著提高定位平台的工作效果。