[实用新型]一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台

权利要求书

1.一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征包括：宏动方位转台、宏动水平转台和微动定位平台，所述的宏动水平转台通过螺栓连接在所述的宏动方位转台上，所述的微动定位平台通过螺栓连接在所述的宏动方位转台上。

2.根据权利要求1所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的宏动方位转台包括：空心轴电机Ⅰ、副框架、主动转轴Ⅰ、编码器Ⅰ和圆锥滚子轴承，所述的空心轴电机Ⅰ通过螺栓连接在所述的副框架上，所述的主动转轴Ⅰ与所述的副框架通过所述的圆锥滚子轴承相连，所述的编码器Ⅰ固连于所述的空心轴电机Ⅰ上。

3.根据权利要求1所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的宏动水平转台包括：空心轴电机Ⅱ、主动转轴Ⅱ、从动转轴、主框架、U型工作台、编码器Ⅱ和角接触球轴承，所述的空心轴电机Ⅱ通过螺栓连接在所述的主框架，所述的主动转轴Ⅱ通过所述的角接触球轴承连接在所述的主框架上，所述的从动转轴通过所述的角接触球轴承连接在所述的主框架上，所述的U型工作台通过螺栓连接在所述的主动转轴Ⅱ和所述的从动转轴之间，所述的编码器固连在所述的从动转轴上。

4.根据权利要求1所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的微动定位平台包括：XYZ定位平台、复位平台、航向轴定位平台和俯仰轴定位平台,所述的XYZ定位平台由X轴前向和Z向定位平台、Y轴前向和Z向定位平台、X轴后向和Z向定位平台、Y轴后向和Z向定位平台和磁悬浮承载平台组成，四个定位平台以所述的磁悬浮承载平台中心90°旋转分布，分别通过螺栓连接在所述的磁悬浮承载平台上，所述的航向轴定位平台胶结在所述的复位平台上，所述的俯仰轴定位平台用螺栓连接在所述的航向轴定位平台上。

5.根据权利要求4所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的X轴前向和Z向定位平台包括：电磁铁保护罩、Z向位移轨道、Z向驱动电磁铁、定位平台基座、永磁铁、位移轨道、导轨槽、电磁铁、粘滑惯性驱动单元、位移滑块、导轨支撑板和Z向滑块，所述的电磁铁保护罩与所述的磁悬浮承载平台通过螺栓连接，所述的Z向位移轨道通过螺栓连接在所述的电磁铁保护罩内，所述的Z向驱动电磁铁通过螺栓连接在所述的电磁铁保护罩上，所述的永磁铁胶结在所述的定位平台基座的下表面，所述的电磁铁通过螺栓连接在所述的位移滑块上，所述的粘滑惯性驱动单元通过螺栓连接在所述的定位平台基座上，所述的位移轨道与所述的导轨支撑板用螺栓连接，所述的位移滑块通过所述的位移轨道安装于所述的导轨槽内，所述的导轨支撑板与所述的定位平台基座通过螺栓连接，所述的Z向滑块与所述的定位平台基座通过螺栓连接。

6.根据权利要求4所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的复位平台包括：上复位平台、复位连接块、X向弹簧、Y向弹簧、下复位平台、磁铁、开口环、开口环压紧螺钉、Z向导轨和Z向导轨套，所述的上复位平台与所述的航向轴定位平台通过螺栓连接，所述的复位连接块分别与所述的X向弹簧和所述的Y向弹簧固定连接，所述的磁铁通过螺栓连接在所述的下复位平台上，所述的开口环通过所述的开口环压紧螺钉紧固在所述的Z向导轨套外围，所述的Z向导轨的一端通过螺栓安装在所述的下复位平台上，另一端通过轴孔配合安装在所述的Z向导轨套内。

7.根据权利要求4所述的一种基于粘滑惯性和磁悬浮驱动结合的宏微精密定位平台，其特征在于所述的航向轴定位平台包括：航向轴基座、航向轴轴套、航向轴、深沟球轴承、粘滑惯性驱动单元和锁紧机构，所述的深沟球轴承与所述的航向轴轴套安装在所述的航向轴基座上，所述的粘滑惯性驱动单元通过螺栓连接在所述的航向轴基座上，所述的锁紧机构通过螺栓连接在所述的航向轴基座上。