[实用新型]一种多晶硅生产用氢气除杂系统及多晶硅生产系统有效
| 申请号： | 202120971611.6 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN216155481U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 武珠峰;吴昌勇;宋高杰;张治锦;刘兴平;宋正平;潘从伟 | 申请（专利权）人： | 内蒙古新特硅材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52;C01B3/50;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 014100 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多晶硅生产用氢气除杂系统及多晶硅生产系统，除杂系统包括淋洗塔和冷凝器，淋洗塔下部用于储存沸腾的三氯氢硅，且设有进气管，进气管用于供氢气通入沸腾的三氯氢硅中，以使其内部分水与三氯氢硅反应；淋洗塔的上部设有喷淋结构，用于将三氯氢硅雾化，从沸腾的三氯氢硅中逸出的气相与雾化的三氯氢硅接触，至逸出的气相内剩余的水与三氯氢硅反应，以得到除水的气相；冷凝器与淋洗塔顶部相连，用于对除水的气相冷凝，以将其内的汽化三氯氢硅液化，从而得到除杂的氢气。采用本实用新型进行氢气干燥，能在不引入外界杂质的前提下，将多晶硅生产用氢气中的水分干燥至1PPm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 氢气 系统 | ||
【主权项】：
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