[实用新型]一种高效的多轴联动型晶圆贴合机有效
| 申请号： | 202120938318.X | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214837636U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 邓泽龙;冯小平;许新星 | 申请（专利权）人： | 苏州圭石科技有限公司 |
| 主分类号： | F16B11/00 | 分类号： | F16B11/00 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座、固定架和安装架，所述底座的顶部安装有贴合机本体，所述贴合机本体的顶部通过螺栓安装有固定架，所述固定架的内部安装有气压缸，且气压缸的输出端贯穿贴合机本体的顶部内壁，所述气压缸的输出端安装有移动杆，所述贴合机本体的底部内壁上通过螺栓安装有安装架，所述安装架的顶部安装有真空仓，所述真空仓的底部内壁上对称分布安装有工作台，所述工作台的顶部对称分布活动安装有滑动块。本实用新型通过在连接板的顶部安装有两个上压头，通过使两个上压头能够同时进行移动，对晶圆进行挤压，使贴合机能够同时对两个工位中的晶圆进行加工，从而提高了贴合机的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 联动 型晶圆 贴合 | ||
【主权项】：
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