[实用新型]一种高效的多轴联动型晶圆贴合机

说明书

本实用新型公开了一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座、固定架和安装架，所述底座的顶部安装有贴合机本体，所述贴合机本体的顶部通过螺栓安装有固定架，所述固定架的内部安装有气压缸，且气压缸的输出端贯穿贴合机本体的顶部内壁，所述气压缸的输出端安装有移动杆，所述贴合机本体的底部内壁上通过螺栓安装有安装架，所述安装架的顶部安装有真空仓，所述真空仓的底部内壁上对称分布安装有工作台，所述工作台的顶部对称分布活动安装有滑动块。本实用新型通过在连接板的顶部安装有两个上压头，通过使两个上压头能够同时进行移动，对晶圆进行挤压，使贴合机能够同时对两个工位中的晶圆进行加工，从而提高了贴合机的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴合机技术领域，具体为一种高效的多轴联动型晶圆贴合机。

背景技术

晶圆是指半导体集成电路上制作需要用到的硅晶片一般为圆形，晶圆可以用来加工制成各种电路元件结构，在晶圆的制作领域需要通过贴合机将两片晶圆进行贴合，从而方便晶圆更好的进行使用，现有的晶圆贴合机在将两片晶圆进行贴合时，晶圆之间容易出现偏移的现象，使晶圆之间没有对齐，从而影响贴合机的加工效率。

现有的一种高效的多轴联动型晶圆贴合机存在的缺陷是：

1、传统的晶圆贴合机，现有的晶圆贴合机在将两片晶圆进行贴合时，晶圆之间容易出现偏移的现象，使晶圆之间没有对齐，从而影响贴合机的加工效率。

2、传统的晶圆贴合机只有一个工位，一次只能对一个晶圆进行加工，从而影响了晶圆的加工速率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效的多轴联动型晶圆贴合机，包括底座、固定架和安装架，所述底座的顶部安装有贴合机本体，所述贴合机本体的顶部通过螺栓安装有固定架，所述固定架的内部安装有气压缸，且气压缸输出端贯穿贴合机本体的顶部内壁，所述气压缸的输出端安装有移动杆，所述贴合机本体的底部内壁上通过螺栓安装有安装架，所述安装架的顶部安装有真空仓，所述真空仓的底部内壁上对称分布安装有工作台，所述工作台的顶部对称分布活动安装有滑动块。

优选的，所述底座的底部安装有支撑腿。

优选的，所述贴合机本体的正面安装有开关门，贴合机本体的一侧安装有控制器，贴合机本体的一侧安装有排气窗，且排气窗位于控制器的上方。

优选的，所述移动杆的底端安装有连接板，且连接板位于真空仓的内部，连接板的底部安装有固定板，固定板的底部安装有上压头，上压头的底部内壁上安装有加热层，加热层的内部安装有加热棒。

优选的，所述真空仓的两侧内壁上安装有检测器，真空仓的顶部安装有密封板，真空仓的顶部安装有真空泵，真空泵的输出端安装有连接管，且连接管贯穿真空仓的内壁。

优选的，所述工作台的顶部内壁上安装有加热件，工作台的顶部安装有下压板，且下压板位于滑动块的中间，滑动块的内侧安装有垂直环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在真空仓的两侧安装有检测器，通过检测器可以对工作台上的晶圆进行检测，检测两片晶圆之间是否对齐，防止晶圆之间没有对齐使在贴合时出现偏差，当检测器检测出来没有对齐时，检测器会进行报警来提醒工作人员，同时还在工作台的顶部安装有滑动装置，滑动装置的顶部安装有滑动块，滑动块的内侧安装有垂直环，通过滑动块的移动可以带动垂直环进行移动，通过两侧的垂直环与两片晶圆相接触，可以使两片晶圆受到挤压的力量所重合，从而保证了晶圆在贴合时不会出现误差和偏移。