[实用新型]一种干式蚀刻机

摘要

本实用新型公开了一种干式蚀刻机，包括托盘，托盘上方通过支架固定安装有水槽箱，水槽箱用于承接蚀刻机放置的蚀刻液，水槽箱内上方设置有托链，托链中部固定连接有结构支架，结构支架下端设置有喷淋块，托盘左侧设置有净化框，水槽箱内部设置有水泵，水泵左侧设置有进水管，净化框中部还设置有排水管。本实用新型通过进水管将水泵吸入的蚀刻液排入到净化框中进行处理，通过排水管将处理后的蚀刻液进入到喷淋块中再排出，形成蚀刻液的净化和循环，通过多组过滤板可以对进入到净化舱内部的蚀刻液进行多组过滤；通过拖杆可以将净化舱整体取出，更加便捷的对净化舱内部的过滤板进行清洗和更换，可以更好地保证蚀刻液的处理质量。